

PCB傳感器技術(shù)是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展水平的標(biāo)志之一,而PCB壓力傳感器技術(shù)是傳感器技術(shù)的一個(gè)重要分支。 目前,擴(kuò)散硅、電容式、硅藍(lán)寶石、陶瓷厚膜、金屬應(yīng)變電式等各種類型的PCB壓力傳感器廣泛應(yīng)用于國民生產(chǎn)各行業(yè)和科技領(lǐng)域。 下面簡單介紹一些常用的PCB壓力傳感器的特點(diǎn)及其區(qū)別。
藍(lán)寶石壓力傳感器
藍(lán)寶石壓力傳感器利用應(yīng)變電阻的工作原理,采用硅藍(lán)寶石作為半導(dǎo)體傳感器,具有無可比擬的計(jì)量特性。
藍(lán)寶石系統(tǒng)由單晶絕緣體元件組成,不會(huì)產(chǎn)生滯后、疲勞和蠕變; 藍(lán)寶石比硅堅(jiān)固,硬度更高,不怕變形; 而且,藍(lán)寶石的彈性和絕緣性非常好。 因此,用硅藍(lán)寶石制成的半導(dǎo)體傳感元件對(duì)溫度變化不敏感,即使在高溫條件下也具有良好的工作特性; 藍(lán)寶石具有很強(qiáng)的抗輻射能力; 此外,硅藍(lán)寶石半導(dǎo)體傳感器沒有p-n漂移,從根本上簡化了PCB制造工藝,提高了重復(fù)性,保證了PCB的高成品率。
采用硅藍(lán)寶石半導(dǎo)體傳感元件制成的PCB壓力傳感器和變送器可在最惡劣的工作條件下正常工作,具有可靠性高、精度好、溫度誤差小、性價(jià)比高等特點(diǎn)。
擴(kuò)散硅壓力傳感器
擴(kuò)散硅壓力傳感器的工作原理是:被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用在傳感器的膜片(不銹鋼或陶瓷)上,使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微小位移,使電阻值為 傳感器變化,用PCB電子電路檢測(cè)這種變化,并轉(zhuǎn)換輸出與該壓力對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。
陶瓷壓力傳感器
耐腐蝕陶瓷壓力傳感器無液體傳輸。 壓力直接作用于陶瓷膜片前表面和腔室膜片表面,使膜片產(chǎn)生輕微變形。 厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,并連接到惠斯通電橋(閉式電橋)。 由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng),電橋產(chǎn)生與壓力和激勵(lì)電壓成正比的高線性電壓信號(hào),標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)根據(jù)不同壓力范圍標(biāo)定為2.0、3.0、3.3 mV等,可兼容 帶應(yīng)變片傳感器。 通過激光校準(zhǔn),傳感器具有較高的溫度穩(wěn)定性和時(shí)間穩(wěn)定性。 傳感器自帶0℃~70℃溫度補(bǔ)償,可直接接觸大多數(shù)介質(zhì)。
陶瓷是公認(rèn)的高彈性、耐腐蝕、耐磨、抗沖擊、抗振動(dòng)的材料。 陶瓷的熱穩(wěn)定性及其厚膜電阻使其工作溫度范圍高達(dá)-40℃~135℃,具有較高的測(cè)量精度和穩(wěn)定性。 電氣絕緣度大于2KV,輸出信號(hào)強(qiáng),長期穩(wěn)定性好。 高性能、低價(jià)格的陶瓷傳感器將是壓力傳感器的發(fā)展方向。 歐美國家有全面替代其他類型傳感器的趨勢(shì)。 在國內(nèi),越來越多的用戶使用陶瓷傳感器來替代擴(kuò)散硅壓力傳感器。
陶瓷厚膜結(jié)構(gòu)與力敏Z元件優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)
厚膜壓力傳感器是繼擴(kuò)散硅壓力傳感器之后壓力傳感器的又一重大技術(shù)創(chuàng)新,力敏Z元件是目前國內(nèi)外唯一具有數(shù)字信號(hào)輸出的敏感元件。 因此,將陶瓷厚膜工藝與最簡單的力敏Z元件電路巧妙結(jié)合,可以生產(chǎn)出性能優(yōu)良、成本低廉的新型傳感器。 具體來說,陶瓷厚膜工藝具有以下優(yōu)點(diǎn):
● 陶瓷彈性體性能優(yōu)良,材料平整、均勻、致密,在一定范圍內(nèi)嚴(yán)格遵守虎克定律,無塑性變形。
● 厚膜電阻器(包括高溫導(dǎo)體)與陶瓷彈性膜片燒結(jié)牢固,無需粘合劑。 剛性結(jié)構(gòu),蠕變小,漂移小,靜態(tài)性能穩(wěn)定,動(dòng)態(tài)性能好。
● 厚膜彈性體結(jié)構(gòu)簡單,制備容易。 與擴(kuò)散硅壓力傳感器相比,不需要半導(dǎo)體平面工藝形成擴(kuò)散電阻彈性膜,大大降低了PCB生產(chǎn)線的初期投資和加工成本。
● 陶瓷厚膜結(jié)構(gòu),耐液體或氣體介質(zhì)腐蝕,無需不銹鋼膜片和硅油的轉(zhuǎn)換隔離,簡化封裝結(jié)構(gòu),進(jìn)一步降低成本。
● 工作范圍廣。 測(cè)量范圍取決于有效半徑與膜片厚度之比。 只要微壓不小于1Kpa,原則上也容易達(dá)到更高的量程。
● 工作溫度范圍廣,可達(dá)-40℃~120℃。
陶瓷厚膜力數(shù)字傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
陶瓷厚膜力數(shù)字傳感器主要由陶瓷環(huán)、陶瓷膜片和陶瓷蓋板組成。 陶瓷膜作為力敏彈性體,采用95%Al2O3瓷精加工而成。 要求平整、均勻、密實(shí)。 其厚度和有效半徑取決于設(shè)計(jì)范圍。
瓷環(huán)采用熱壓鑄工藝在高溫下燒制而成。 陶瓷膜片與陶瓷環(huán)之間采用高溫玻璃漿料,通過厚膜印刷和熱燒技術(shù)一起燒制,形成具有周邊固定支撐的力敏杯形彈性體,即無蠕變的剛性結(jié)構(gòu)。 在陶瓷的周邊固定支撐處形成。 在陶瓷膜的上表面,即瓷杯的底部,采用厚膜工藝技術(shù)制作傳感器電路。 陶瓷蓋板下部的圓形凹槽在蓋板和膜片之間形成一定的間隙。 通過限位可防止膜片在過載時(shí)因過度彎曲而折斷,對(duì)線路板傳感器形成防過載保護(hù)。
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